Título da Publicação: 
Microelectronic Engineering
Tipo de documento: 
Artigo publicado em periódicos indexados na base do SCI (Science Citation Index)
Autor: 
SELIMIS, A.; MIRONOV, V.; FARSARI, M.;
Dados da Publicação: 
v. 132 (25), p. 83-89, .
Ano da Publicação: 
2015