Título da Publicação: 
Journal of Vacuum Science & Technology B
Tipo de documento: 
Artigo publicado em periódicos indexados na base do SCI (Science Citation Index)
Autor: 
AGNOL, F. F. D.; PAULO, A. C.; ANGELES, P. J. P.; ENGELSEN, D. D.; SANTOS, T. E. A.; MAMMANA, V. P.;
Dados da Publicação: 
v. 28 (3), p. 441-449, 2010.
Ano da Publicação: 
2010